大型金属非球面反射镜的镀膜工艺

大尺寸球面厦非球面金属反射镜在一些科学实验和工程装置中有很多用途。本文叙述了用作氙灯集光器的偏离椭球镜和作成像场镜的抛物镜两种大尺寸金属非球面反射镜的真空镀膜工艺,以及氧化硅保护铝反射膜在近紫外及可见光谱区的反射特性。着重讨论了在氧气压下进行一氧化硅气相反应蒸发对提高镜面紫外反射的作用。文中还将讨论蒸气障板在改善大口径镜面涂层均匀性方面的积极作用,并且介绍了有关金属镜面上膜层牢固性能和若干工艺问题,最后罗列了一些参数和实验结果。紫外与可见光谱区的反射率是在斯屈朗多次反射系统中进行测量的。紫外区采用了小功率石英水银灯与IP28(美)光电倍增管作为辐射源与接收器。综合能量——白光的反射率是采用一般的绝对法来测定的。关于镜面的均匀性,在本项工作中主要追求反射能量的均匀,因此不作几何厚度够测量,只观察膜层干涉颜色和实际测量反射率。