|
|||||
|
|
| 扩散泵真空系统的运转和维护 | |
| 引用本文： | 梅占先 ,唐荣成 ,Dorothy. M. Hoffman.扩散泵真空系统的运转和维护[J].真空,1981(2). |
| 作者姓名： | 梅占先 唐荣成 Dorothy. M. Hoffman |
| 摘 要： | 本文详述了扩散泵真空系统的污染来源。说明了减少这些污染的方法。还提出了合理的抽气方法,特别强调采用干燥的氮气净化气体。 引言:本文的目的是汇集在真空技术的各个领域中合理使用扩散泵、机械泵机组,降低在抽气过程中来自有机泵油、人造橡胶一密封圈以及真空油脂等污染的经验。以前发表过的很多资料1-3],从过去几年的经验表明还没有被广泛了解,为了进行更清洁的真空处理,还要更好地宣传。 讨论:我们规定污染就是系统里的各种有害气体,通常是可凝气体或活性气体(如油、水、氧),并考虑污染来源。图1表示不考虑机械泵的简化的扩散泵系统… |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |