| 用室温红外透射谱研究Hg_（1－x）Cd_xTe外延薄膜的组份分布 |
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| 引用本文： | 褚君浩,李标,刘坤,汤定元.用室温红外透射谱研究Hg_（1－x）Cd_xTe外延薄膜的组份分布[J].红外与毫米波学报,1996,15(2). |
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| 作者姓名： | 褚君浩 李标 刘坤 汤定元 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
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| 摘 要： | 根据Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ本征吸收系数的经验公式及Ｈｏｕｇｅｎ模型，建立了一种用室温红外透射谱研究Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ外延薄膜组份均匀性的方法，用这种方法检测了ＬＰＥ、ＭＢＥ、ＭＯＣＶＤ薄膜的组份分布，并与二次离子质谱（ＳＩＭＳ）测量结果进行了比较
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| 关 键 词： | Hg1－xCdxTe，红外透射谱，外延薄膜 |
INVESTIGATION ON COMPOSITION PROFILE OF Hg 1- x Cd x Te EPILAYER BY ROOM TEMPERATURE INFRARED TRANSMISSION |
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| Chu Junhao,Li Biao,Liu Kun,Tang Dingyuan.INVESTIGATION ON COMPOSITION PROFILE OF Hg 1- x Cd x Te EPILAYER BY ROOM TEMPERATURE INFRARED TRANSMISSION[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,1996,15(2). |
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| Authors: | Chu Junhao Li Biao Liu Kun Tang Dingyuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Hg 1- x Cd x Te infrared transmission epliayers |
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