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Ga2O3:Mn电致发光薄膜的微结构及光谱特性研究
引用本文:张修太,黄蕙芬.Ga2O3:Mn电致发光薄膜的微结构及光谱特性研究[J].电子器件,2004,27(4):581-584.
作者姓名:张修太  黄蕙芬
作者单位:东南大学电子工程系,南京,210096;东南大学电子工程系,南京,210096
基金项目:本课题得到江苏省自然科学基金项目支持(BK2001012).
摘    要:采用电子束蒸发法在硅衬底或BaTiO3陶瓷基片上沉积了Ga2O3:Mn电致发光膜,并进行了不同温度热处理,制备了电致发光器件。用X射线衍射(XRD)分析了Ga2O3:Mn薄膜晶体结构;用荧光分光光度计测试了电致发光器件的发射光谱。研究了Ga:O。:Mn薄膜的晶体结构与其光谱特性之间的关系。实验结果表明,Ga2O3:Mn薄膜结晶度随热处理温度的提高而提高,且晶体结构和结晶取向也随之改变;经500℃热处理的Ga2O3:Mn薄膜电致发光器件发绿光,其光谱主峰分布在495~535nm之间,且随驱动电压增高,谱峰出现蓝移现象。

关 键 词:电致发光  电子束蒸发  Ga2O3∶Mn薄膜  晶体结构  荧光分光光度计
文章编号:1005-9490(2004)04-0581-04

Microstructure and Spectral Properties of Ga2O3:Mn Electroluminescent phosphor Thin Films
Abstract:
Keywords:
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