| DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统 |
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| 引用本文： | 唐文剑,武丰煜,唐辉,陈建平. DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统[J]. 电工电能新技术, 1996, 0(3) |
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| 作者姓名： | 唐文剑 武丰煜 唐辉 陈建平 |
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| 作者单位： | 中国科学院电工研究所 |
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| 摘 要： | 本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。
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| 关 键 词： | 电子束曝光机，偏转系统 |
DEFLECTION SYSTEM OF DY-5 ELECTRON BEAM EXPOSURE MACHINE |
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| TANG Wenjian,WU Fengyu, CHEN Jianping,TANG Hui. DEFLECTION SYSTEM OF DY-5 ELECTRON BEAM EXPOSURE MACHINE[J]. Advanced Technology of Electrical Engineering and Energy, 1996, 0(3) |
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| Authors: | TANG Wenjian WU Fengyu CHEN Jianping TANG Hui |
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| Abstract: | The paper presents the constitution features and experimental results of deflection system of the DY-5 electron beam exposure machine. |
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| Keywords: | electron beam exposure machine deflection system |
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