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| 《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行 | |
| 作者单位： | 真空杂志社; |
| 摘 要： | 正由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃 |
| 关 键 词： | 真空镀膜技术 出版发行 离子辅助沉积 溅射镀膜 离子镀膜 化学气相沉积 技术丛书 冶金工业出版社 镀膜机 导电玻璃 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |