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分类号
杂志ISSN号
《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行
作者单位:
真空杂志社;
摘 要:
正由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书:《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容:薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、真空化学气相沉积(CVD)、离子注入与离子辅助沉积技术、ITO导电玻璃
关 键 词:
真空镀膜技术
出版发行
离子辅助沉积
溅射镀膜
离子镀膜
化学气相沉积
技术丛书
冶金工业出版社
镀膜机
导电玻璃
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