| 微电子机械系统和片式系统 |
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| 引用本文： | 王祁,王劲松,迟晓珠.微电子机械系统和片式系统[J].传感器与微系统,1999,18(3):54-56. |
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| 作者姓名： | 王祁 王劲松 迟晓珠 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系,哈尔滨,150001
2. 东北传感技术研究所 |
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| 摘 要： | 介绍微电子机械系统和片式系统的原理、构成和应用,并介绍几种已研制成功的微电子机械系统和片式系统。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 片式系统 |
| 修稿时间： | ：1999－03－15 |
Micro Electro Mechanical System and System on a Chip |
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| Wang Qi,Wang Jinsong,Chi Xiaozhu.Micro Electro Mechanical System and System on a Chip[J].Transducer and Microsystem Technology,1999,18(3):54-56. |
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| Authors: | Wang Qi Wang Jinsong Chi Xiaozhu |
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| Abstract: | Methods, structures and applications of MEMS and system on a chip are introduced. Then some examples of MEMS and SOC, which have been developed, are presented. |
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| Keywords: | Micro electro mechanical systemSystem on a chip(SOC) |
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