| 石墨表面扫描隧道显微镜纳米级加工研究 |
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| 引用本文： | 蔡从中,王万录,陈新镛,舒启清. 石墨表面扫描隧道显微镜纳米级加工研究[J]. 微细加工技术, 2001, 0(4): 65-69 |
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| 作者姓名： | 蔡从中 王万录 陈新镛 舒启清 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学数理学院,
2. 深圳大学理学院, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(19904016) |
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| 摘 要： | 利用自制的扫描隧道显微镜(STM),进行了石墨表面的纳米级加工研究.在用STM对固体材料表面进行纳米级超微加工过程中,当探针-试样间施加一高电压脉冲时,电子反馈回路将使探针急速回缩,导致实际有效电压脉冲宽度远小于所施加的电压脉冲宽度.我们专门设计了由计算机编程控制的瞬时"保持"功能,即在高电压脉冲作用过程中,使探针始终固定在原有位置,并保持原有探针-试样间距不变.因而在进行固体材料表面纳米级超微加工时,可准确地测得有效电压脉中宽度.通过在大气中对石墨表面的蚀刻研究,首次测得在电压脉冲幅值为4V时,有效脉宽阈值为(0.04±0.01)μs.
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 微细加工 纳米加工 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)04-0065-05 |
| 修稿时间： | 2001-05-18 |
Study on the Nanolithography of Graphite Surface Using Scanning Tunneling Microscope |
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| CAI Cong zhong ,WANG Wan lu ,CHEN Xin yong ,SHU Qi qing. Study on the Nanolithography of Graphite Surface Using Scanning Tunneling Microscope[J]. Microfabrication Technology, 2001, 0(4): 65-69 |
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| Authors: | CAI Cong zhong WANG Wan lu CHEN Xin yong SHU Qi qing |
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| Affiliation: | CAI Cong zhong 1,WANG Wan lu 1,CHEN Xin yong 1,SHU Qi qing 2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning tunneling microscope nanolithography graphite surface |
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