| 斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究 |
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| 引用本文： | 袁群,高志山,李建欣,周宇轩,褚光,石钖.斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究[J].中国激光,2011(8). |
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| 作者姓名： | 袁群 高志山 李建欣 周宇轩 褚光 石钖 |
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| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院; |
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| 摘 要： | 研制了斐索式红外干涉仪,口径为120mm,配置F/1,F/4标准球面锗透镜,用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量。干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路,并配合光栅尺,实时监测标准镜和被测件的方位,解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难。采用在线标定的方法,实现了大伸长量移相器的标定。使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量,并标定了系统误差。检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01λ,测量重复性RMS优于0.002λ。
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| 关 键 词： | 测量 红外干涉仪 双视场 非球面 光栅尺 |
Research on Techniques of Fabrication and Measurement about Fizeau Infrared Interferometer |
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| Yuan Qun Gao Zhishan Li Jianxin Zhou Yuxuan Chu Guang Shi Yang.Research on Techniques of Fabrication and Measurement about Fizeau Infrared Interferometer[J].Chinese Journal of Lasers,2011(8). |
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| Authors: | Yuan Qun Gao Zhishan Li Jianxin Zhou Yuxuan Chu Guang Shi Yang |
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| Affiliation: | Yuan Qun Gao Zhishan Li Jianxin Zhou Yuxuan Chu Guang Shi Yang(Institute of Electrical Engineering & Photoelectric Technology,Nanjing University of Science & Technology,Nanjing,Jiangsu 210094,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measurement infrared interferometer dual field of view aspheric surface raster ruler |
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