| 用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 |
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| 引用本文： | 邓文渊,金春水,靳京城. 用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征[J]. 中国激光, 2011, 0(10) |
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| 作者姓名： | 邓文渊 金春水 靳京城 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; |
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| 基金项目： | 国家重大科技专项(2009ZX02206-005)资助课题 |
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| 摘 要： | 对用于ArF准分子激光器的CaF2衬底进行了表征实验研究。采用分光光度计测量了CaF2衬底的透射光谱和反射光谱,利用激光量热法测量了CaF2衬底吸收,分别利用原子力显微镜(AFM)和白光干涉仪(WLI)测量了CaF2衬底的表面粗糙度,并计算了功率谱密度(PSD)和表面散射,最后分别测量了CaF2衬底的荧光光谱、红外光谱和拉曼光谱。激光量热法测量5 mm厚准分子级CaF2衬底的吸收结果为922×10-6。AFM和WLI测得的CaF2衬底表面粗糙度均方根值分别为0.22和1.24 nm,计算表面散射损耗分别为0.005%和0.25%。荧光光谱在紫外(UV)级CaF2衬底中检测到Ce3+等杂质离子。红外光谱和拉曼光谱在CaF2衬底表面没有检测到水气和有机污染物。实验结果表明,激光量热法可以精确地测量和评价准分子级CaF2衬底的吸收,表面粗糙度的测量结果需要与散射的实测结果综合起来进行评价,荧光和红外等光谱技术是检测CaF2衬底内部痕量杂质及表面污染的有效手段。
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| 关 键 词： | 激光器 ArF准分子激光器 CaF2衬底 激光量热吸收 表面粗糙度 光谱术 |
Characterization of CaF_2 Substrates for ArF Excimer Laser |
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| Deng Wenyuan Jin Chunshui Jin Jingcheng. Characterization of CaF_2 Substrates for ArF Excimer Laser[J]. Chinese Journal of Lasers, 2011, 0(10) |
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| Authors: | Deng Wenyuan Jin Chunshui Jin Jingcheng |
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| Affiliation: | Deng Wenyuan Jin Chunshui Jin Jingcheng (State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun,Jilin 130033,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | lasers ArF excimer laser CaF2 substrate laser calorimeter surface roughness spectroscopy |
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