| 微型风速风向传感器研制 |
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| 引用本文： | 李艳杰,高成臣,文彬. 微型风速风向传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2003, 22(3): 25-26,29 |
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| 作者姓名： | 李艳杰 高成臣 文彬 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量。
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| 关 键 词： | 硅微桥 风向 风速 传感器 |
| 文章编号： | 1000-9787(2003)03-0025-02 |
Development of wind speed and direction transducer |
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| Abstract: | ?The principle,structure design and manufacture process of a wind speed and direction transducer is described.A microbridge is suspended on a slilicon flow channel by micromachining.Heating resistor and thermal resistors are set on the bridge.By used of microbride can largely reduce consumption and enhance sensitivity.This device suit to detect flow air velocity. |
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| Keywords: | silicon microbrodge wind direction wind speed transducer |
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