| 深亚微米薄膜CMOS／SOI电路的集成器件线路模拟 |
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| 引用本文： | 张兴 石涌泉. 深亚微米薄膜CMOS／SOI电路的集成器件线路模拟[J]. 电子学报, 1996, 24(2): 96-99 |
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| 作者姓名： | 张兴 石涌泉 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究所，陕西微电子学研究所 |
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| 摘 要： | 开发了适用于薄膜亚微米、深亚微米ＣＭＯＳ／ＳＯＩ电路的集成器件线路模拟软件，该模拟软件采用集成数值模型，将薄膜ＳＯＩ器件的数值模拟与电路模拟有机地结合在一起，实现了薄膜亚微米、深亚微米ＣＭＯＳ／ＳＯＩ电路的精确数值模拟，利用这一软件较为详细地分析了硅层厚度为５０￣４００ｎｍ、沟道长度为０．１５￣１．０ｕｍ的ＣＭＯＳ／ＳＯＩ环形振荡器电路，使我们对深亚微米薄膜ＣＭＯＳ／ＳＯＩ环振的特性及工作机理了较
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| 关 键 词： | CMOS／SOI 集成数值模型 环振 薄膜电路 |
Integrated Device and Circuit Simulation of Thin Film Deep Submicron CMOS/SOI Circuits |
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| Zhang Xing. Integrated Device and Circuit Simulation of Thin Film Deep Submicron CMOS/SOI Circuits[J]. Acta Electronica Sinica, 1996, 24(2): 96-99 |
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| Authors: | Zhang Xing |
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| Keywords: | Thin film CMOS/SOI Integrated numerical model Ring oscillators |
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