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| 平膜式流量芯片的研制 | |
| 引用本文： | 程颖,王江,尹延昭,刘亚娟.平膜式流量芯片的研制[J].计量与测试技术,2009,36(11):27-28. |
| 作者姓名： | 程颖 王江 尹延昭 刘亚娟 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第49研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种平膜结构的流量芯片,阚述了其结构设计、电路设量和使用表明:该传感器具有测量精度高、体积小、功耗低、一致性好、互换性好等特点. |
| 关 键 词： | 流量传感器 平膜结构 微加工技术 |
Research on Plate Diaphragm Type Flow Sensor |
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