| 氟化非晶碳膜的微结构分析 |
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| 引用本文： | 蒋爱华,肖剑荣. 氟化非晶碳膜的微结构分析[J]. 真空科学与技术学报, 2009, 29(1) |
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| 作者姓名： | 蒋爱华 肖剑荣 |
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| 作者单位： | 桂林工学院,数理系,桂林,541004 |
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| 基金项目： | 广西教育厅科研项目，桂林工学院博士启动项目 |
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| 摘 要： | 利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在不同的温度下制备了氟化非晶碳膜.采用原子力显微镜(AFM)、X 射线光电子能谱(XPS)和傅里叶红外吸收光谱(FTIR)等仪器对薄膜微结构进行了表征.研究发现,氟化非晶碳膜微观结构与薄膜生长过程温度控制密切相关,温度升高,膜内键合结构变化,sp2相对含量增加.
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| 关 键 词： | 氟化非晶碳薄膜 微结构 沉积温度 |
Growth and Properties of Fluorinated Amorphous Carbon Films |
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| Jiang Aihua,Xiao Jianrong. Growth and Properties of Fluorinated Amorphous Carbon Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2009, 29(1) |
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| Authors: | Jiang Aihua Xiao Jianrong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PECVD |
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