| 便携式呼吸机用微压传感器 |
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| 引用本文： | 张仲平,李华军.便携式呼吸机用微压传感器[J].传感器与微系统,1997,16(6):43-45. |
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| 作者姓名： | 张仲平 李华军 |
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| 作者单位： | [1]无锡海鹰科技咨询公司 [2]石家庄军事医学研究所 |
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| 摘 要： | 为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种量程为2kPa的小型微压传感器．为减小尺寸及冲击振动的影响，采用了微机械加工的方形平膜结构和梁膜复合结构。两种设计均能满足使用的要求．
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| 关 键 词： | 便携式呼吸机 微型微压传感器 微机械加工 方形平膜 梁膜复合结构 |
Micropressure Transducer for Hand Ventilator |
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| Zhang Zhongping.Micropressure Transducer for Hand Ventilator[J].Transducer and Microsystem Technology,1997,16(6):43-45. |
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| Authors: | Zhang Zhongping |
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| Abstract: | Apiezoresistive small-sized and micropressure transducers are developed for an advanced minitary hand ventilator. To reduce size and avoid effect of vibration and shock. a micromechanical square planar diaphragm structure and a composite membrane-beam structure have been designed. In prance both sensors are satisfactory for measurement of breathing pressure. |
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| Keywords: | Hand ventilator Miniature low pressure transducerMicromachining Square planar diaphragm Composite membrane-beam structure |
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