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| 空心圆柱面镀膜用旋转支架 | |
| 引用本文： | 苏成彬,孔志坤.空心圆柱面镀膜用旋转支架[J].仪表技术与传感器,1980(2). |
| 作者姓名： | 苏成彬 孔志坤 |
| 作者单位： | 沈阳仪器仪表工艺研究所，沈阳仪器仪表工艺研究所 |
| 摘 要： | 在平面型光学元件的表面真空蒸镀光学薄膜时,一般地是将待镀元件置于高真空室的载物盘上进行的。如果有特殊要求时(如蒸镀楔形膜),则将待镀元件倾斜地夹持在真空室内进行蒸镀。而对圆柱形光学零件或其他圆柱形物体表面蒸镀光学薄膜时,用上述方法就难以实现了。例如,欲在一个圆柱形物体外圆柱面蒸镀薄膜时,若采取使之与镀膜机工作台台面平行放置的方式,要进行三次蒸镀,尚不能保证膜层的均匀性,因为只有每次使它沿轴线翻转120°位置才能使整个外圆柱面都能蒸镀上光学薄膜。假如倾斜地将它夹持在真空室内时,则至少应蒸镀六次才能使膜层较均匀,因为要消除高、低差造成的不均匀结果,必须将圆柱体二端交换位置蒸镀。这样显然是复杂的,而且不 |
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