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| 金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响 | |
| 引用本文： | 王静,张广安,王立平. 金属复合对CrN薄膜的结构及摩擦磨损性能的影响[J]. 润滑与密封, 2008, 33(5): 30-32 |
| 作者姓名： | 王静 张广安 王立平 |
| 作者单位： | 1. 兰州大学物理科学与技术学院,甘肃兰州,730000 2. 兰州大学物理科学与技术学院,甘肃兰州,730000;中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州,730000 3. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州,730000 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) , 国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 采用反应磁控溅射制备了CrN、Cr-Al-N与Cr-Ti-N复合薄膜;利用XRD与SEM表征了薄膜的结构及断面形貌;采用摩擦磨损实验机考察了薄膜的摩擦磨损性能;研究了金属复合对薄膜结构和摩擦磨损性能的影响.结果表明:所制备的复合薄膜中Al与Ti均以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子.形成固溶体的合金复合薄膜;合金复合后薄膜的结晶性变差,晶粒均出现细化;合金复合薄膜的摩擦磨损性能均有不同程度的提高.其中Cr-Al-N薄膜的耐磨性极大提高. |
| 关 键 词： | CrN薄膜 磁控溅射 金属复合 摩擦磨损 |
| 文章编号： | 0254-0150(2008)5-030-3 |
| 修稿时间： | 2008-01-08 |
The Influence of Metal Alloyed on the Structure and Wear Properties of CrN Coatings |
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| Wang Jing,Zhang Guangan,Wang Liping. The Influence of Metal Alloyed on the Structure and Wear Properties of CrN Coatings[J]. Lubrication Engineering, 2008, 33(5): 30-32 | |
| Authors: | Wang Jing Zhang Guangan Wang Liping |
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| Keywords: | |
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