| L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究 |
| |
| 引用本文： | 吴倩楠,范丽娜,李孟委. L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究[J]. 电子测量技术, 2022, 45(8): 7-13 |
| |
| 作者姓名： | 吴倩楠 范丽娜 李孟委 |
| |
| 作者单位： | 1.中北大学前沿交叉科学研究院030051;2.中北大学理学院030051;3.中北大学微系统集成研究中心030051; |
| |
| 基金项目： | 2020年装备发展部型谱项目(2006WW0011)资助。 |
| |
| 摘 要： | 针对目前MEMS单刀七掷开关体积大、插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于“米”字型功分器的单刀七掷MEMS开关,通过HFSS软件对射频MEMS开关单元和“米”字型功分器进行设计,对开关的S参数、驻波比进行了仿真研究,并采用COMSOL软件对射频MEMS开关单元进行机械性能分析。结果表明,在1~40 GHz频段内,单刀七掷MEMS开关各个端口的插入损耗≤0.45 dB@40 GHz,隔离度≥29.5 dB@40 GHz,驻波比≤1.45,且体积仅有0.65 mm×0.5 mm×0.5 mm。此设计可与滤波器、衰减电阻、天线等集成,应用于多通道可调谐MEMS器件中,在卫星通信、雷达、和微波测试领域中具有一定的应用价值。
|
| 关 键 词： | 单刀七掷开关 MEMS 米字型功分器 小体积 低插损 |
Design and research of L~Ka band MEMS SPDT switch |
| |
| Wu Qiannan,Fan Lin,Li Mengwei. Design and research of L~Ka band MEMS SPDT switch[J]. Electronic Measurement Technology, 2022, 45(8): 7-13 |
| |
| Authors: | Wu Qiannan Fan Lin Li Mengwei |
| |
| Affiliation: | 1.Academy for Advanced Interdisciplinary Research, North University of China, Taiyuan 030051, China; 2.School of Science, North University of China, Taiyuan 030051, China; 3.Center for Microsystem Intergration North University of China, North University of China, Taiyuan 030051, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Single Pole Seven Throw Switch MEMS Meter-shaped Power Divider Small Size Low Insertion Loss |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《电子测量技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《电子测量技术》下载免费的PDF全文 |
|
