| 基体对SnO_2 UPF成膜结构的影响 |
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| 引用本文： | 王巍,王声乐,潘孝仁. 基体对SnO_2 UPF成膜结构的影响[J]. 传感器与微系统, 1998, 0(4) |
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| 作者姓名： | 王巍 王声乐 潘孝仁 |
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| 作者单位： | 淮北煤炭师范学院物理系，华东理工大学中国科学技术大学化学系 |
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| 摘 要： | 对不同基体上采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法（ＤＣ－ＧＤＡＲＥ）制备的氧化锡超微粒薄膜的晶相结构进行了分析。结果表明：不同的基体对此类薄膜的生长有极重要的影响作用。
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| 关 键 词： | 沉积 晶相结构 超微粒薄膜 基体 |
Influence of Substrates on the Crystal Structure of SnO 2 UPF Thin Films |
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| Wang Wei Wang Shengyue. Influence of Substrates on the Crystal Structure of SnO 2 UPF Thin Films[J]. Transducer and Microsystem Technology, 1998, 0(4) |
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| Authors: | Wang Wei Wang Shengyue |
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| Abstract: | The study on crystal structure of SnO 2 UPF(Ultrafine particle films) prepared by DC gas discharge activating reaction deposition technique is reported. The results indicate that the factors of substrates are most important on the growth of SnO 2 UPF. |
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| Keywords: | Deposition Crystal structure Ultrafine particle films Substrate |
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