| MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法 |
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| 引用本文： | 杨兴,周兆英,叶雄英,王晓浩.MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法[J].微纳电子技术,2003,40(7):378-381. |
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| 作者姓名： | 杨兴 周兆英 叶雄英 王晓浩 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制研究室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(G1999033106)资助项目;国家863(2002AA404290)资助项目 |
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| 摘 要： | 介绍了基于MEMS的微型燃料电池的国内外研究动态，对其技术关键进行了阐述。在此基础上，对微型燃料电池的换气方法进行了研究。提出一种低功耗、体积小的压电风扇，对其力学模型进行了分析，并进行了风速、振幅、功耗等方面的实验研究，初步证明其应用于微型燃料电池换气的可行性。
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| 关 键 词： | MEMS 微机电系统 微型燃料电池 压电风扇 换气方法 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0378-04 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
MEMS-based micro fuel cell and its air supplying method by piezoelectric fan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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