| 掺铒Al2O3薄膜与镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光特性比较 |
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| 引用本文： | 李成仁,宋昌烈,李淑凤,宋琦,李建勇,雷明凯.掺铒Al2O3薄膜与镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光特性比较[J].半导体光电,2005,26(3):212-215. |
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| 作者姓名： | 李成仁 宋昌烈 李淑凤 宋琦 李建勇 雷明凯 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024;辽宁师范大学,物理系,辽宁,大连,116029;大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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辽宁省科技厅资助项目
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辽宁省教育厅资助项目 |
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| 摘 要： | 用中频磁控溅射工艺分别制备了掺铒Al2O3薄膜和镱铒共掺Al2O3薄膜,室温下测量了它们的光致发光特性.结果表明:镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光的峰值强度为掺铒Al2O3薄膜的8倍以上, 两者的半值宽度近似相等;泵浦功率增强,掺铒 Al2O3薄膜光致发光强度出现饱和趋势,但镱铒共掺Al2O3薄膜的光致发光强度随泵浦功率线性增加.
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| 关 键 词： | 中频磁控溅射 掺铒Al2O3薄膜 镱铒共掺Al2O3薄膜 光致发光特性 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)03-0212-04 |
| 修稿时间： | 2004年9月27日 |
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