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离子注入工艺和其他表面处理工艺相比,具有其特有的优点:它能获得合金相,离子直接往入材料表层,结合强度高,不会产生脱层现象;另外注入时工件温度低(150℃),不会改变工件原有尺寸精度和表面光洁度。所以离子注入工艺用来处理齿轮刀具、拉刀、精密模具等形状复杂,精度要求高的工具,具有十分显著的经济意义。