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| Fab厂中SPC系统的开发与应用 | |
| 引用本文： | 焦海霞,高有行.Fab厂中SPC系统的开发与应用[J].电子科技,2003(22):33-36. |
| 作者姓名： | 焦海霞 高有行 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学计算机外部设备研究所,西安,710071 |
| 摘 要： | SPC(统计制程控制)是一种生产过程质量控制的重要工具。SPC系统对生产过程进行实时分析评价，根据反馈信息及时发现系统性因素出现的征兆，并采取措施消除其影响，使过程维持在仅受随机性因素影响的受控状态，以达到控制质量的目的。文中分析了半导体Fab厂中SPC系统的开发与应用。 |
| 关 键 词： | 统计制程控制 SPC 生产质量控制 Fab厂 半导体 管制图 |
| 修稿时间： | 2003年10月14 |
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