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| 镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂 | |
| 摘 要： | 公开号 ＣＮ 1 2 4 2 4 38Ａ 申请人 上海交通大学 地址 2 0 0 0 30上海市化山路 1 954号 一种镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂 ,由 1 %～ 2 5%(Ｖ)氢氟酸 ,0 5%～ 1 5%(Ｖ)硝酸 ,2 %～ 2 0 %(Ｖ)盐酸和主要成份是磺酸钾 ,次氯酸钠 ,过氧醋酸或双氧水中的一种或多种混合物的刻蚀速率促进剂组成 ,并可以通过补充消耗的活性成份而维持使用性能。本发明对光刻胶及许多有机化合物具有高稳定性 ,可以保证图形转移的精度 ,提高对复杂细微掩模图形的复制能力 ,同时可以提高批量加工的成品率 ,加工成本和废液处理成本非常低。镍钛合金薄… |
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