| 沉积温度对AZO薄膜性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 李晓东,邵世强.沉积温度对AZO薄膜性能的影响[J].玻璃与搪瓷,2016(1):1-4. |
| |
| 作者姓名： | 李晓东 邵世强 |
| |
| 作者单位： | 信义光伏产业(安徽)控股有限公司,安徽芜湖,241009 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013 AA030602) |
| |
| 摘 要： | 在采用直流磁控溅射制备AZO(Aluminum Doped Zinc Oxide,掺铝氧化锌)薄膜的过程中,AZO薄膜的光电性能取决于镀膜过程中的各种工艺参数,包括溅射气压、沉积温度、溅射功率和靶基距等。本文主要研究在固定其它工艺参数不变的情况下,通过改变沉积温度在不同的温度下分别制备AZO薄膜,利用SEM、X射线衍射仪等测试不同AZO薄膜的微观结构,并分析研究不同沉积温度下制备AZO薄膜光电性能及结构的变化特性,以筛选出制备高质量AZO膜的最佳沉积温度。
|
| 关 键 词： | AZO薄膜 磁控溅射 沉积温度 性能 微观结构 |
Effect of Deposition Temperature on the Properties of AZO Thin Films |
| |
| LI Xiaodong,SHAO Shiqing.Effect of Deposition Temperature on the Properties of AZO Thin Films[J].Glass & Enamel,2016(1):1-4. |
| |
| Authors: | LI Xiaodong SHAO Shiqing |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | AZO magnetron sputtering film deposition temperature performance microstructure |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
