| LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的生长及结构分析 |
| |
| 引用本文： | 郝兰众,李燕,邓宏,刘云杰,姬洪,张鹰.LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的生长及结构分析[J].功能材料,2005,36(3):346-347. |
| |
| 作者姓名： | 郝兰众 李燕 邓宏 刘云杰 姬洪 张鹰 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(51310z) |
| |
| 摘 要： | 采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的SrTiO3 单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/Ba TiO3 超晶格薄膜。在超晶格薄膜生长过程中,采用高能电子衍射技术(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3 超晶格薄膜的生长过程以及平面晶格变化进行了分析。通过对超晶格薄膜中各层RHEED衍射条纹的分析计算发现超晶格薄膜存在一个临界厚度,其值约为 17nm,当超晶格薄膜的厚度小于该临界厚度时,晶格畸变在逐渐增加,当厚度超过该临界厚度时,晶格畸变因弛豫现象的产生而逐渐减小。超晶格薄膜中不同层的RHEED衍射条纹的差别说明了由于不同应力的作用使超晶格薄膜中LAO层和BTO层表面粗糙度不同。
|
| 关 键 词： | LaAlO3/BaTiO3 超晶格薄膜 RHEED 临界厚度 |
| 文章编号： | 1001-9731(2005)03-0346-02 |
| 修稿时间： | 2004年6月28日 |
Research on the growth and microstructure of LaAlO3/BaTiO3 |
| |
| HAO Lan-zhong,LI Yan,DENG Hong,LIU Yun-jie,JI Hong,ZHANG Ying.Research on the growth and microstructure of LaAlO3/BaTiO3[J].Journal of Functional Materials,2005,36(3):346-347. |
| |
| Authors: | HAO Lan-zhong LI Yan DENG Hong LIU Yun-jie JI Hong ZHANG Ying |
| |
| Abstract: | In this paper, LaAlO_3/BaTiO_3 superlattices were prepared by laser molecular beam epitaxy (L-MBE). During experiments, the growth of LaAlO_3/BaTiO_3 superlattice was inspected by reflection high-energy electron diffraction (RHEED) technologies. By research, the changing curve of in-plan lattice was given, and then the critical thickness of the superlattice, which was 17nm for the LaAlO_3/BaTiO_3 superlattice designed here, was obtained. |
| |
| Keywords: | LaAlO_3/BaTiO_3 superlattice RHEED critical thickness satellite peaks |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
