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LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的生长及结构分析
引用本文:郝兰众,李燕,邓宏,刘云杰,姬洪,张鹰.LaAlO3/BaTiO3超晶格薄膜的生长及结构分析[J].功能材料,2005,36(3):346-347.
作者姓名:郝兰众  李燕  邓宏  刘云杰  姬洪  张鹰
作者单位:电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(51310z)
摘    要:采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向的SrTiO3 单晶基片上成功外延生长了LaAlO3/Ba TiO3 超晶格薄膜。在超晶格薄膜生长过程中,采用高能电子衍射技术(RHEED)对LaAlO3/BaTiO3 超晶格薄膜的生长过程以及平面晶格变化进行了分析。通过对超晶格薄膜中各层RHEED衍射条纹的分析计算发现超晶格薄膜存在一个临界厚度,其值约为 17nm,当超晶格薄膜的厚度小于该临界厚度时,晶格畸变在逐渐增加,当厚度超过该临界厚度时,晶格畸变因弛豫现象的产生而逐渐减小。超晶格薄膜中不同层的RHEED衍射条纹的差别说明了由于不同应力的作用使超晶格薄膜中LAO层和BTO层表面粗糙度不同。

关 键 词:LaAlO3/BaTiO3  超晶格薄膜  RHEED  临界厚度
文章编号:1001-9731(2005)03-0346-02
修稿时间:2004年6月28日

Research on the growth and microstructure of LaAlO3/BaTiO3
HAO Lan-zhong,LI Yan,DENG Hong,LIU Yun-jie,JI Hong,ZHANG Ying.Research on the growth and microstructure of LaAlO3/BaTiO3[J].Journal of Functional Materials,2005,36(3):346-347.
Authors:HAO Lan-zhong  LI Yan  DENG Hong  LIU Yun-jie  JI Hong  ZHANG Ying
Abstract:In this paper, LaAlO_3/BaTiO_3 superlattices were prepared by laser molecular beam epitaxy (L-MBE). During experiments, the growth of LaAlO_3/BaTiO_3 superlattice was inspected by reflection high-energy electron diffraction (RHEED) technologies. By research, the changing curve of in-plan lattice was given, and then the critical thickness of the superlattice, which was 17nm for the LaAlO_3/BaTiO_3 superlattice designed here, was obtained.
Keywords:LaAlO_3/BaTiO_3  superlattice  RHEED  critical thickness  satellite peaks  
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