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| VO2薄膜及电学开关特性 | |
| 作者姓名： | 许Min 邱家稳 等 |
| 作者单位： | 兰州物理所，兰州730000 |
| 摘 要： | 用溶胶－凝胶法在非晶玻璃上制备VO2薄膜，经过熔融、涂膜、烘干和热处理等工艺最后得到电阻相变2－3个量级的VO2薄膜。对烘干温度、熔融温度、膜厚和热处理温度对薄膜电阻开关特性的影响进行了研究。通过AFM，XRD和XPS对薄膜的结构和特性进行分析。 |
| 关 键 词： | 薄膜 电阻 开关特性 制备 二氧化钒 VO2 结构 表征相变 光电转换开关 溶胶－凝胶法 |
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