| 微机电系统用电铸镍铁合金的制备及其电磁性能 |
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| 引用本文： | 郑晓虎,朱荻,朱增伟.微机电系统用电铸镍铁合金的制备及其电磁性能[J].机械工程材料,2007,31(3):33-36. |
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| 作者姓名： | 郑晓虎 朱荻 朱增伟 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学机电工程学院,江苏南京,210016;淮阴工学院机械工程系,江苏淮安,223001
2. 南京航空航天大学机电工程学院,江苏南京,210016 |
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| 摘 要： | 研究了电铸镍铁合金制备过程中工艺条件对电铸层成分的影响,获得含铁质量分数20%电铸层的最佳工艺条件为镀液硫酸亚铁含量6 g/L、pH值2.5、温度55℃、电流密度3.5 A/dm2;讨论了镀层形貌及电磁性能的变化关系.结果表明:制备的镀层表面光亮、结构致密,晶面为(111)、(220)、(200).该铸镍铁合金矫顽力最小为2.95×10-2 A/m,表现出较强的顺磁性.剩磁力随着铸层铁含量的增大呈下降趋势,饱和磁化强度为IJ85合金的10%,具有优良的电磁性能.可以用于制造微型磁执行器与传感器元件.
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| 关 键 词： | 电铸 镍铁合金 电磁性能 微机电系统 微机电系统 电铸 镍铁合金 电磁性能 MEMS Alloys Property Electromagnetic 元件 传感器 执行器 微型 制造 磁化强度 趋势 磁力 顺磁性 表现 最小 矫顽力 |
| 文章编号： | 1000-3738（2007）03-0033-04 |
| 修稿时间： | 2006-04-032006-06-27 |
Composition and Electromagnetic Property of Elctrofomed Ni-Fe Alloys for MEMS |
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| ZHENG Xiao-hu,ZHU Di,ZHU Zeng-wei.Composition and Electromagnetic Property of Elctrofomed Ni-Fe Alloys for MEMS[J].Materials For Mechanical Engineering,2007,31(3):33-36. |
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| Authors: | ZHENG Xiao-hu ZHU Di ZHU Zeng-wei |
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| Affiliation: | 1. Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China; 2. Huaiyin Institute of Technology, Huaian 223001, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electroforming Ni-Fe alloy electromagnetic property MEMS |
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