SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门 |
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引用本文: | 付军.SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门[J].集成电路应用,2005(4):59-59. |
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作者姓名: | 付军 |
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摘 要: | 美国吉时利仪器公司(Kdthley)最近发市了用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频(RF)测量功能。对于吉时利公司第三代射频(RF参数测量系统方案(是一个选配件),其独特的新内容是能提供连续、自动、实时的测试质量监控.在提供优等质量结果的同时,也获得了最高测量产能、最低运行成本,以及易于使用的特点。
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关 键 词: | 吉时利公司 第三代晶圆射频测量功能 测试质量监控 运行成本 |
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