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SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门
引用本文:付军.SWAGELOK增DRP^TM系列铁弗龙隔膜阀产品线推出可人为调整的阀门[J].集成电路应用,2005(4):59-59.
作者姓名:付军
摘    要:美国吉时利仪器公司(Kdthley)最近发市了用于半导体生产过程中参数测试的第三代晶圆射频(RF)测量功能。对于吉时利公司第三代射频(RF参数测量系统方案(是一个选配件),其独特的新内容是能提供连续、自动、实时的测试质量监控.在提供优等质量结果的同时,也获得了最高测量产能、最低运行成本,以及易于使用的特点。

关 键 词:吉时利公司  第三代晶圆射频测量功能  测试质量监控  运行成本
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