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| ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究 | |
| 引用本文： | 孙小孟,李勇滔,夏洋,李超波,李英杰,陈盛云,赵章琰,秦威.ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究[J].现代电子技术,2012,35(3):202-203,206. |
| 作者姓名： | 孙小孟 李勇滔 夏洋 李超波 李英杰 陈盛云 赵章琰 秦威 |
| 作者单位： | 1. 昆明理工大学信息工程与自动化学院,云南昆明 650000;中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京 100029 2. 中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京,100029 3. 昆明理工大学信息工程与自动化学院,云南昆明,650000 |
| 基金项目： | 国家科技重大专项(2009ZX02037) |
| 摘 要： | 阐述原子层沉积系统（ALD）中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配。 |
| 关 键 词： | 射频阻抗匹配器 阻抗匹配网络 ALD ADS |
Design and research of RF impedance matching device in ALD |
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| SUN Xiao-meng , LI Yong-tao , XIA Yang , LI Chao-bo , LI Ying-jie , CHEN Sheng-yun , ZHAO Zhang-yan , QIN Wei.Design and research of RF impedance matching device in ALD[J].Modern Electronic Technique,2012,35(3):202-203,206. | |
| Authors: | SUN Xiao-meng LI Yong-tao XIA Yang LI Chao-bo LI Ying-jie CHEN Sheng-yun ZHAO Zhang-yan QIN Wei |
| Affiliation: | 1.Information Engineering & Automation College,Kunming University of Science and Technology,Kunming 650000,China; 2.Key Laboratory of Microelectronics Devices & Integrated Technology,Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China) |
| Abstract: | The design of RF impedance matching device in the atomic layer deposition(ALD) system is described.The impedance matching network was simulated with ADS.Through analyzing the load impedance characteristic before and after the plasma generating in the vacuum chamber,and combining with the simulation results,the control method of impedance matching network when the plasma produce is proposed.The experiment proves that impedance matching can be realized by this impedance matching device and the control method. |
| Keywords: | RF impedance matching device impedance matching network ALD ADS |
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