| 气敏材料纳米多孔WO3制备关键技术研究 |
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| 引用本文： | 何志巍,李春燕,张建军,王学进,周梅,祁铮.气敏材料纳米多孔WO3制备关键技术研究[J].材料导报,2010,24(21). |
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| 作者姓名： | 何志巍 李春燕 张建军 王学进 周梅 祁铮 |
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| 作者单位： | 中国农业大学理学院应用物理系,北京,100083;中国农业大学理学院应用物理系,北京,100083;中国农业大学理学院应用物理系,北京,100083;中国农业大学理学院应用物理系,北京,100083;中国农业大学理学院应用物理系,北京,100083;中国农业大学理学院应用物理系,北京,100083 |
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| 基金项目： | 教育部重大项目培育基金，国家自然科学基金，中科院半导体所材料科学重点实验室开放课题 |
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| 摘 要： | 归纳和总结了制备应用于气敏传感器的纳米多孔WO3薄膜的关键技术,论述了降低材料工作温度和提高灵敏度的多种途径,分析了其各自的利弊,重点介绍了溶胶-凝胶法制备的原理和方法,总结了其应用于制备传感器材料时所面临的问题,并展望了该方向的研究前景.
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| 关 键 词： | 纳米WO3 温度 灵敏度 |
Important Questions of WO3 Nanoporous Thin Film Deposition Technology |
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| HE Zhiwei,LI Chunyan,ZHANG Jianjun,WANG Xuejin,ZHOU Mei,QI Zheng.Important Questions of WO3 Nanoporous Thin Film Deposition Technology[J].Materials Review,2010,24(21). |
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| Authors: | HE Zhiwei LI Chunyan ZHANG Jianjun WANG Xuejin ZHOU Mei QI Zheng |
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