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掺氟低氢PECVD SixNy工艺研究

引用本文：	俞诚.掺氟低氢PECVD SixNy工艺研究[J].薄膜科学与技术,1990,3(1):61-65.

作者姓名：	俞诚

摘要：
关键词：	PECVD法掺氟低氢氮化硅薄膜
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