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基于横向场激励的高频压电超声换能器
引用本文:张志甜,张超,冯冠平. 基于横向场激励的高频压电超声换能器[J]. 传感技术学报, 2010, 23(4): 461-464. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.04.003
作者姓名:张志甜  张超  冯冠平
作者单位:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;深圳清华大学研究院,深圳,518057;清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084;深圳清华大学研究院,深圳,518057
基金项目:国家自然科学基金项目资助(60571014);;深圳市“双百”计划项目资助
摘    要:介绍了一种基于横向场激励模式的高频压电超声换能器及其设计、分析和制作过程。采用扩展的Christoffel-Bech-mann方法对LiNbO3、LiTaO3和PMN-33PT三种不同压电材料的a模式横向场压电耦合系数进行了计算,发现这三种材料中LiNbO3具有最大的LFE a模式压电耦合系数,为28%。采用具有最大压电耦合系数的X切LiNbO3设计并制作了基于横向场激励的高频超声换能器,并采用传统的Pulse-Echo方法测试了该超声换能器的中心频率和带宽。实验测得该LFE高频超声换能器的中心频率为34MHz,-6dB带宽为14.4%。从理论和实验上证明了横向场激励模式可以应用于高频超声换能器。

关 键 词:高频压电超声换能器  横向场激励  Pulse-Echo方法  铌酸锂

High Frequency Piezoelectric Ultrasonic Transducers Based on Lateral Field Excitation
ZHANG Zhitian,ZHANG Chao,FENG Guanping. High Frequency Piezoelectric Ultrasonic Transducers Based on Lateral Field Excitation[J]. Journal of Transduction Technology, 2010, 23(4): 461-464. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.04.003
Authors:ZHANG Zhitian  ZHANG Chao  FENG Guanping
Affiliation:1.Department of Precision Instruments and Mechanology;Tsinghua University;Beijing 100084;China;2.Research Institute of Tsinghua University in Shenzhen;Shenzhen 518057;China
Abstract:This paper presents the design,analysis and fabrication of Lateral Field Excited Piezoelectric Ultrasonic transducers. The Lateral field excitation coupling factors of three different kinds of piezoelectric materials (LiNbO3,LiTaO3,PMN-33PT) for a-mode have been calculated with the Extended Christoffel-Bechmann method. It was found that LiNbO3 had the maximum piezoelectric coupling factor of 28 %. The X-cut LiNbO3,which had the maximum piezoelectric coupling factor,was chosen for the design of a lateral fie...
Keywords:high frequency ultrasonic transducer  lateral field excitation  pulse-echo method  lithium niobate  
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