原子层沉积技术及其改进办法

纳米薄膜材料技术近年来发展迅速，作为新型材料，由于在光，电、磁以及力学等方面具有特殊性能，使之作为功能材料和结构材料都应用广泛，发展前景良好。其材料应用范围十分广泛，特别是在信息，能源等工业快速发展的前提下，元器件的小型化，高密度，高集成等要求使纳米薄膜技术受到越来越多的重视。纳米薄膜未来的技术的目标是能按照需要形成高质量的分子线度级别的薄膜，并且对于不同形状的基底要形成高质量的膜层。微纳米薄膜材料成为如今半导体行业研究的重要课题和发展基础。