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Ge_(0.4)Si_(0.6)/Si多量子阱与Ge/Si短周期超晶格样品中的深中心
引用本文:王海龙,司俊杰,封松林.Ge_(0.4)Si_(0.6)/Si多量子阱与Ge/Si短周期超晶格样品中的深中心[J].半导体学报,1999,20(9):737-744.
作者姓名:王海龙  司俊杰  封松林
作者单位:中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室!北京100083(王海龙,封松林),中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室!北京100083(司俊杰)
摘    要:用深能级瞬态谱(DLTS)研究了分子束外延生长的Ge0.4Si0.6/Si多量子阱与Ge/Si应变超晶格样品中深能级中心的性质.在两种样品中都观测到两个多数载流子中心和一个少数载流子中心.在Ge0.4Si0.6/Si多量子阱样品中深中心E2的能级位置为EC-0.30eV,E3的能级位置为EC-0.22eV.并且在正向注入下随着E2峰的消失观测到一个少数载流子峰SH1,其能级位置为EV+0.68eV.在Ge/Si应变超晶格中,深中心H1的能级位置为EV+0.44eV,深中心H2的能级位置为EV+0.24eV

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