| 四氯化硅的应用现状研究 |
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| 引用本文： | 吴明明,谈 瑛,侯清麟,王吉清.四氯化硅的应用现状研究[J].湖南工业大学学报,2010,24(6):18-22. |
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| 作者姓名： | 吴明明 谈 瑛 侯清麟 王吉清 |
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| 作者单位： | 1. 湖南工业大学,绿色包装与生物纳米技术应用省重点实验室,湖南,株洲,412007
2. 湖南工业大学,包装新材料与技术重点实验室,湖南,株洲,412007 |
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| 基金项目： | 湖南省科技计划重点资助项目（2009GK2012） |
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| 摘 要： | 综述了四氯化硅的主要处理方法和应用研究进展。详细介绍了四氯化硅在制备二氧化硅、多晶硅、三氯硅烷及其他硅烷产品方面的应用及其制备原理,并对各制备工艺技术进行了分析。
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| 关 键 词： | 四氯化硅 二氧化硅 氢化 等离子体法 多晶硅 |
| 收稿时间： | 2010/9/13 0:00:00 |
Application Research of Silicon Tetrachloride |
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| Wu Mingming,Tan Ying,Hou Qinglin and Wang Jiqing.Application Research of Silicon Tetrachloride[J].Journal of Hnnnan University of Technology,2010,24(6):18-22. |
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| Authors: | Wu Mingming Tan Ying Hou Qinglin and Wang Jiqing |
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| Abstract: | Reviews the disposing methods and applications of silicon tetrachloride, introduces its applications in the preparation of silica, polycrystalline silicon, silicon trichloride and other silicanes products, and analyzes principles of the preparation process technologies. |
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