| SNMP在半导体装备控制系统中的应用 |
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| 引用本文： | 王亚楠,刘明哲,叶家发.SNMP在半导体装备控制系统中的应用[J].机械设计与制造,2013(1):72-74. |
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| 作者姓名： | 王亚楠 刘明哲 叶家发 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院研究生院,北京100039;中国科学院沈阳自动化研究所,辽宁沈阳110016
2. 中国科学院沈阳自动化研究所,辽宁沈阳,110016 |
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| 摘 要： | 半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,实现了一种基于简单网络管理协议的分布式I/O通信系统,系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制,还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种SNMP封装的方法,使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信,从而满足半导体装备控制系统的一致性控制需求。
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| 关 键 词： | 简单网络管理协议 SNMP++开发包 半导体 通信系统 一致性需求 不间断电源 |
SNMP Protocol Application in IC Equipment Control System |
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| WANG Ya-nan
,
LIU Ming-zhe
,
YE Jia-fa.SNMP Protocol Application in IC Equipment Control System[J].Machinery Design & Manufacture,2013(1):72-74. |
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| Authors: | WANG Ya-nan LIU Ming-zhe YE Jia-fa |
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| Affiliation: | 1,2(Shenyang Institute of Automation Chinese Academy of Sciences,Liaoning Shenyang 110016,China) |
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| Abstract: | |
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