| 芯片级全固化集成光波导陀螺 |
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| 引用本文： | 闫树斌,赵敏,刘正,李杰,严英占,薛晨阳,刘俊.芯片级全固化集成光波导陀螺[J].红外与激光工程,2011,40(5):921-925. |
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| 作者姓名： | 闫树斌 赵敏 刘正 李杰 严英占 薛晨阳 刘俊 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划，国家自然科学基金，重点实验室基金，总装创新项目，山西省优秀青年学术带头人和山西省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 高灵敏、全固态、集成制造的微光-机-电陀螺是未来发展的新一代惯性器件,在深空探测、载人航天以及飞行器制导技术领域具有迫切应用需求.提出基于光波导微腔透射谱输出特性的惯性测量方法与系统基础结构,并对其惯性测量原理、微加工工艺以及耦合性能进行了讨论.利用数值拟合得到波导耦合系统设计优化参数,采用激光熔融热处理技术,降低了波...
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| 关 键 词： | 集成光波导 透射谱 耦合传输 微光-机-电陀螺 |
All-solid integrated optical waveguide Gyro based on chip |
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| Yan Shubin,Zhao Min,Liu Zheng,Li Jie,Yan Yingzhan,Xue Chenyang,Liu Jun.All-solid integrated optical waveguide Gyro based on chip[J].Infrared and Laser Engineering,2011,40(5):921-925. |
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| Authors: | Yan Shubin Zhao Min Liu Zheng Li Jie Yan Yingzhan Xue Chenyang Liu Jun |
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