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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
RCE光电探测器顶部DBR的优化
作者姓名:
梁琨
陈弘达
邓晖
杜云
唐君
吴荣汉
作者单位:
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083
摘 要:
对研制的 VCSEL 结构外延片制成的谐振腔增强型 (简称 RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究 ,由于 VCSEL 与 RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同 ,通过腐蚀 VCSEL 器件顶部 DBR,改变顶镜反射率 ,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的 RCE光电探测器 ,实现 VCSEL 与 RCE探测器的单片集成 .
关 键 词:
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
谐振腔增强型(RCE)光电探测器
分布式布拉格反射镜(DBR)
自由空间光互连(FSOI)
文章编号:
0253-4177(2001)04-0409-05
修稿时间:
2000-10-23
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