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| RCE光电探测器顶部DBR的优化 | |
| 作者姓名： | 梁琨 陈弘达 邓晖 杜云 唐君 吴荣汉 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室，北京100083 |
| 摘 要： | 对研制的 VCSEL 结构外延片制成的谐振腔增强型 (简称 RCE)光电探测器进行了物理分析和实验研究 ,由于 VCSEL 与 RCE光电探测器对谐振腔反射镜的反射率要求不同 ,通过腐蚀 VCSEL 器件顶部 DBR,改变顶镜反射率 ,能够得到量子效率峰值和半宽优化兼容的 RCE光电探测器 ,实现 VCSEL 与 RCE探测器的单片集成 . |
| 关 键 词： | 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 谐振腔增强型(RCE)光电探测器 分布式布拉格反射镜(DBR) 自由空间光互连(FSOI) |
| 文章编号： | 0253-4177（2001）04-0409-05 |
| 修稿时间： | 2000-10-23 |
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