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| 等离子体装置及等离子体生成方法 | |
| 引用本文： | 安藤真,高桥応明.等离子体装置及等离子体生成方法[J].表面技术,2008,37(2):33. |
| 作者姓名： | 安藤真 高桥応明 |
| 摘 要： | 一种等离子体装置，包括将通过馈电部供给的高频电磁场（F）供给到处理容器内的缝隙天线，所述馈电部具有谐振腔，所述谐振腔构成谐振器，同时将馈电的高频电磁场（F）变换成旋转电磁场并供给所述缝隙天线。 |
| 关 键 词： | 等离子体装置 生成方法 高频电磁场 缝隙天线 谐振腔 供给 馈电 谐振器 |
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