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| 变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试 | |
| 作者姓名： | 刘楷 薛松 卢启鹏 彭忠琦 吴坤 陈家华 王勇 巩志华 |
| 作者单位： | 1.中国科学院上海应用物理研究所;2.中国科学院研究生院;3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 摘 要： | 在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43"。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166",光栅转角重复精度为0.149",分辨率达到0.03",满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外,还测量了光栅切换机构的重复精度。 |
| 关 键 词： | 变包含角平面光栅单色仪 光电自准直仪 转角重复精度 测量 |
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