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| 微光机电系统技术的研究与应用(下) | |
| 引用本文： | 张培玉.微光机电系统技术的研究与应用(下)[J].电子产品世界,2001(14). |
| 作者姓名： | 张培玉 |
| 作者单位： | 北京大学微电子所 博士后 |
| 摘 要： | 二 光学研究和应用 微光学平台是微光机电系统技术应用的一个典型例子，它主要用于光学测量和实验。传统的光学系统平台体积大，系统中的元件是先分开制造然后组装而成，装配量很大，成本很高。而微光学平台体积小，系统中的元件可集加工在单一芯片上，对准精度高．可成批生产，成本低。这些优点使微光学平台相对于传统的光学系统有很大的优势。所以．该方面的研究是微光机电系统研究的最基本部分。研究包括各种微铰链（图７（ａ））、微反射镜（图７（ｂ））、微衍射透镜（Ｆｒｅｓｎｅ１，多阶二元微透镜（图７（ｃ））、微折射透镜（图７… |
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