磁悬浮高速转子真空计原理的研究

本文介绍磁悬浮高速转子真空计(简称磁悬规),详细叙述了该计的工作原理。磁悬规是通过测量气体分子对高速转子的阻尼造成的转速衰减来测量气体压强。测出两个相邻的时间间隔τ_n,τ_(n+1)(在每个时间间隔上转子转动次数相同),利用P=c_o/σ(τ_(n+1)-τ_n)/τ_(n+1)·τ_n公式,计算出气体压强,其中c_o、σ为仅与转子和气体种类有关的常数。该计具有良好的测量重复性,在1Pa～10~(-4)Pa的压强范围中,三年内测量重复性零散小于1％。测量时不改变被测气体的成份与压强。它是一种有发展前途的真空计。