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| 快速自动测量的扩展电阻探针 | |
| 作者姓名： | 罗夷伦 |
| 摘 要： | 一 引言 由于扩展电阻探针测量半导体材料电阻率具有极高的空间分辨率(一般可达10~(-9)cm~3),因此它被用来测量电阻率的微区分布和研究各种缺陷的电学行为等。 大规模集成电路的飞跃发展,对半导体材料提出了各种新的要求。为了提高器件性能和成品率,要求元件参数的一致性,对材料的完整性和均匀性就提出了苛刻的要求。为使扩展电阻法在研究适用于 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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