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| 10^—10Pa溅射离子泵的研制 | |
| 引用本文： | 仇华兴,孙仁君.10^—10Pa溅射离子泵的研制[J].真空,1998(3):11-15. |
| 作者姓名： | 仇华兴 孙仁君 |
| 作者单位： | 上海真空泵厂 |
| 摘 要： | 本文主要介绍１０－１０Ｐａ溅射离子泵的研制，提高极限真空和抽气速率的方法。 |
| 关 键 词： | 溅射离子泵 新型 极限真空 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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