超精密轴系结构最佳方案的确定方法

目前超精密机床和仪器的主轴回转精度已从微米级向着亚微米级甚至毫微米级发展,采用何种轴系结构来达到这些精度是设计制造者所关注的一个重要问题。作者在研制超精密轴系过程中,采用多目标决策分析法确定其最佳结构方案,取得良好效果。