| 晶圆传输机器人大臂的模态分析及其结构优化 |
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| 引用本文： | 刘劲松,朱杨冰,邱进军.晶圆传输机器人大臂的模态分析及其结构优化[J].制造业自动化,2015(14). |
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| 作者姓名： | 刘劲松 朱杨冰 邱进军 |
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| 作者单位： | 上海理工大学机械工程学院,上海,200093 |
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| 摘 要： | 首先对晶圆传输机器人大臂进行实体建模,采用ANSYS之Mechanical APDL和Workbench对模型进行有预应力的模态分析。然后,针对分析结果进行结构优化,并计算出较好尺寸的新大臂结构。最后,对新的大臂模型进行有预应力的模态分析。结果表明,新结构的WTR大臂性能更加优越,抗震性更好,更有利于晶圆快速、高效、平稳地传输。
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| 关 键 词： | 晶圆传输机器人大臂 Mechanical APDL Workbench 模态分析 结构优化 |
Modal analysis and structure optimization of wafer transfer robot's big arm |
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| LIU Jin-song,ZHU Yang-bing,QIU Jin-jun.Modal analysis and structure optimization of wafer transfer robot's big arm[J].Manufacturing Automation,2015(14). |
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| Authors: | LIU Jin-song ZHU Yang-bing QIU Jin-jun |
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