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| 国内外集成电路光刻胶研究进展 | |
| 摘 要： | <正>光刻胶又名"光致抗蚀剂",是一种在紫外光等光照或辐射下,其溶解度会发生变化的薄膜材料。光刻胶的配方较为复杂,通常由增感剂、溶剂、感光树脂以及多种添加剂成分构成[1],是集成电路制造的关键基础材料之一,是光刻技术中涉及到最关键的功能性化学材料[2],广泛用于印刷电路和集成电路的制造以及半导体分立器件的微细加工等过程[3]。光刻胶分为光 |
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