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| 真空漏率校准装置的研制 | |
| 引用本文： | 吴根发,梁智岷,宋红.真空漏率校准装置的研制[J].四川真空,2002(2):16-21. |
| 作者姓名： | 吴根发 梁智岷 宋红 |
| 作者单位： | [1]四川国防区域计量站6101校准实验室／／国防科工委第二真空计量二级站 [2]国投南光有限公司 |
| 摘 要： | 本文简述了真空漏率校准装置的设计思路、原理、框图及主要技术指标等，并对本装置的不确定度进行了描述。 |
| 关 键 词： | 真空漏率 标准漏孔 质谱计 校准 校准装置 |
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