| 太赫兹行波管输能窗用复合金刚石膜的设计 |
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| 引用本文： | 李莉莉,丁明清,杜英华,冯进军. 太赫兹行波管输能窗用复合金刚石膜的设计[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2018, 16(3): 374-377 |
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| 作者姓名： | 李莉莉 丁明清 杜英华 冯进军 |
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| 作者单位： | National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Electronics，Beijing Vacuum Electronics Research Institute，Beijing 100015，China,National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Electronics，Beijing Vacuum Electronics Research Institute，Beijing 100015，China,National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Electronics，Beijing Vacuum Electronics Research Institute，Beijing 100015，China and National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Electronics，Beijing Vacuum Electronics Research Institute，Beijing 100015，China |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(“973”计划)资助项目(2013CB933602)；装备预先研究资助项目(31512010502-3) |
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| 摘 要： | 为解决现有多晶金刚石用于太赫兹(THz)真空电子器件输能窗存在慢性漏气风险的技术难题，介绍了一种高断裂强度、良好真空密封性能、低微波损耗的新型超薄复合多层金刚石膜的研制方法。该复合超薄金刚石膜采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术，通过合理的结构设计和优化工艺，实现微米晶金刚石(MCD)和超纳米晶金刚石(UNCD)交替沉积的三明治结构。测量100 μm厚不同结构的复合膜断裂强度，是同样厚度的MCD的2~3倍。将研制的复合多层金刚石膜用于180 GHz和220 GHz 太赫兹行波管输能窗，通过气密性检测，漏率≤1×10-10 Pa?m3/s。窗的冷测结果显示，180 GHz窗的S11≤-15 dB(10 GHz带宽)，220 GHz窗的S11≤-10 dB(20 GHz带宽)，均具有良好的射频(RF)性能，满足使用要求。为太赫兹行波管输能窗的研制提供了一种成本低、可靠性高的超薄金刚石膜的技术途径。
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| 关 键 词： | 超纳米金刚石；微米金刚石；断裂强度；传输损耗 |
| 收稿时间： | 2016-09-26 |
| 修稿时间： | 2017-10-13 |
Design and fabrication of composite diamond window for terahertz TWT |
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| LI Lili,DING Mingqing,DU Yinghua and FENG Jinjun. Design and fabrication of composite diamond window for terahertz TWT[J]. Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology, 2018, 16(3): 374-377 |
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| Authors: | LI Lili DING Mingqing DU Yinghua FENG Jinjun |
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| Abstract: | |
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